在化学处理法中，以投加药剂产生化学反应为基础的处理单元是：混凝、中和、氧化还原等；而以传质作用为基础的处理单元则有：萃取、汽提、吹脱、吸附、离子交换以及电渗析和反渗透等。后两种处理单元又合称为膜分离技术。其中运用传质作用的处理单元既具有化学作用，又有与之相关的物理作用，所以也可从化学处理法中分出来 ，蒸发设备，成为另一类处理方法，称为物理化学法。
三级处理是处理的同义语，但两者又不完全一致。三级处理是经二级处理后，为了从废水中去除某种特定的污染物，工业废水蒸发结晶，如磷、氮等，而补充增加的一项或几项处理单元；处理则往往是以废水回收、复用为目的，来宾蒸发，在二级处理后所增设的处理单元或系统。三级处理耗资较大，管理也较复杂，但能充分利用水资源。有少数建成了一些污水三级处理厂。
但处置积累的废污泥则是废水处理中一个主要经济因素。污泥加工设备的一次投资约为处理厂投资的三分之一。自生物滤池出水澄清出来的沉淀固体，或剩余活性污泥，常送回到处理厂的首部使与初级污泥一起清除。生污泥可以储存在初次沉淀池底部等待处理或抽送至一个调蓄池储存，抽取的污泥可在一个浓缩池内浓缩，浓缩池通常为重力式单元，放在污泥加工之前。
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